Come implementare una sorgente FEG in un SEM compatto: storia della nascita di un prodotto

I SEM compatti sono strumenti che si caratterizzano per l’estrema semplicità d’uso e la velocità senza eguali.
Tuttavia la loro risoluzione non è ancora paragonabile a quella dei SEM da pavimento. Nel 2018 Thermo Fisher Scientific™ è riuscita, per la prima volta, ad implementare la sorgente FEG in un SEM compatto. La sorgente ad emissione di campo (FEG) consente di ottenere immagini ad alta risoluzione (< 3 nm), nitide ed ottimamente contrastate. Quest’articolo racconta le sfide tecnologiche che sono state superate ed hanno reso possibile lo sviluppo del nuovo Phenom Pharos.

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